来源:江苏科海检验有限公司 时间:2024-06-27 07:59:10 [举报]
电子工业用氩气是经过特殊提纯处理的惰性气体,其主要应用在半导体制造、微电子器件生产、平板显示(LCD、OLED等)以及其他高精密电子组件加工过程中。氩气在这些领域的主要作用包括:
保护气体:氩气是一种理想的保护气体,在焊接和溅射工艺中广泛应用。例如,在半导体芯片封装中的线焊和倒装焊等工艺中,氩气作为保护气体可以防止金属氧化,确保焊接质量。
离子轰击:在半导体芯片制造过程中的离子注入或物理气相沉积(PVD)环节,氩气被电离后形成氩离子,用于清洗、蚀刻或镀膜等操作。
惰性气氛:在洁净室环境下的各种装配和测试过程中,使用氩气可提供一个无氧、干燥的环境,以避免材料与氧气或其他有害杂质发生反应。
激光切割与焊接:氩气也常用于光纤激光切割机等设备中,辅助进行精细且无热影响区的切割和焊接。
照明与显示:在某些光源如霓虹灯管和荧光灯中,氩气和其他稀有气体一起填充灯管,产生特定颜色的光。
总之,电子工业用氩气的质量要求,通常需要达到99.999%甚至更高的纯度,同时对其水分含量、氧含量、氮含量以及其它可能存在的痕量污染物都有严格的规定,以满足电子制造行业的苛刻标准。
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