电子工业用氦气氧气氮气含量

来源：江苏科海检验有限公司 时间：2024-05-19 09:58:41 [举报]

电子工业用氦气的全项纯度要求通常非常严格，因为它在半导体制造、光纤生产、真空技术、低温科学等领域中扮演着关键角色。以下是一些可能包含在电子工业用氦气全项纯度检测中的项目和相应的标准：

氦气纯度：

电子工业用氦气的纯度通常需要达到高纯或超纯级别，即纯度在99.999%以上，甚至高达99.9999%。

杂质气体如氮、氧、氩、甲烷、一氧化碳、二氧化碳等的含量应控制在极低水平，通常以ppm（百万分之一）或ppb（十亿分之一）来衡量。

非氦杂质气体含量：

氮（N2）含量：通常要求≤1 ppm 或更低。

氧（O2）含量：通常要求≤1 ppm 或更低。

氩（Ar）含量：通常要求≤1 ppm 或更低。

甲烷（CH4）含量：通常要求≤0.1 ppm 或更低。

一氧化碳（CO）含量：通常要求≤0.1 ppm 或更低。

二氧化碳（CO2）含量：通常要求≤0.1 ppm 或更低。

水分含量：

电子工业用氦气的水分含量要求极低，通常要求露点低于-60℃或者更低，以防止在低温或高真空环境下出现冷凝现象。

颗粒物和微粒污染：

对于某些应用，如半导体制造，对氦气中的颗粒物和微粒污染也有严格要求，通常需要通过过滤器进行净化处理。

其他特定杂质：

根据具体的应用需求，可能还需要检测和控制其他特定杂质，如有机化合物、卤素元素、重金属离子等。

电子工业用氦气的全项纯度检测通常由的气体分析实验室进行，采用和高灵敏度的分析设备和技术，如气相色谱法、质谱法、光谱法、露点仪法等。

这些检测结果对于确保电子工业产品的质量和性能至关重要。

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