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GB/T 16945 2009是中国关于电子工业用氩气的标准,它规定了氩气的技术要求、试验方法以及包装、标志、贮运及安全等相关细节。氩气在电子工业中有广泛应用,特别是在以下几个方面:
半导体制造 :氩气是半导体行业的重要材料,用于清洗晶圆表面(如在光刻过程中,用于溅射沉积前的预处理),以及在蚀刻工艺中作为惰性气体保护。
2. 真空室和电弧炉 :氩气用于创建高真空环境,例如在电子束焊接、真空冶炼和熔炼过程中,氩气可以防止金属氧化并维持稳定的电弧。
3. 显示设备生产 :氩气用于液晶显示器(LCD)和等离子显示器(PDP)的制造,尤其是在平板显示设备的制造过程中,氩气用于清洗和沉积工艺。
4. 激光切割和打标 :氩气与其他气体(如二氧化碳或氦气)混合形成混合气体,用于激光切割和打标,特别是在金属加工和玻璃加工中。
5. 电子元器件封装 :氩气在封装过程中用于保护敏感的电子元件免受外部污染,如在封装设备、集成电路(IC)和微电子组件中。
6. 科学研究和实验室 :氩气作为惰性气体,常用于科学实验和实验室中,作为保护气体进行低温实验或者作为稀有气体光源。 总之,GB/T 16945 2009确保了电子工业用氩气的质量控制,以满足精密电子设备制造过程中对气体纯度、稳定性和安全性的要求。
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