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GB/T 16944 2009是中国国家标准,它规定了电子工业用氮气的技术要求、检验方法以及包装、标志等方面的内容。这个标准适用于从分离空气或通过氨还原法制得的氮气,主要用于超大规模集成电路制造中的多种应用,如净化、覆盖、保护、加压以及在化学气相沉积(CVD)过程中作为载气。 对于氮气的纯度,GB/T 16944 2009中可能规定了不同的等级,以满足不同工业过程的需求。例如,电子工业通常需要高纯度的氮气,特别是当它用作半导体设备的清洁气体时,高纯度可以工艺的 性和产品质量。在这个标准中,可能会提到的纯度等级包括但不限于: 99.99%(通常称为五级纯,适合一些基础应用) 99.999%(六级纯,对洁净度要求较高的应用) 99.9999% 或者 99.99999%(七级纯,即9N到10N,适用于对杂质含量有极严格限制的电子器件制造) 99.9996% 是一个可能被提及的高纯度级别,这表示氮气中杂质的含量极低,足以满足大多数电子工业的精密需求。 如果你需要具体的操作规程或者纯度要求,建议查阅GB/T 16944 2009的全文或联系相关检测机构获取详细信息。
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